氦氣回收系統

（1）技術簡介

氦氣撿漏中氦氣回收主要分為三個部分：a、抽空；b、充氦；c、回收。

回收膜分離的工藝流程非常簡單，可分為預處理和膜分離兩部分。

預處理系統為：高低壓罐供氣系統，鋼瓶氦氣通過低壓罐，經過壓縮機，打到高壓罐，當高壓罐壓力 達到設定值時，關閉鋼瓶氦氣。通過高壓罐供產線氦氣檢漏工序使用。氦檢后，氦氣回收入低 壓罐，再經過壓縮機打到高壓罐繼續使用，以此循環。當高壓罐中氦氣濃度下降到指定值（90%） 時，氦氣純化設備通過旁路聯通高壓罐和低壓罐，氦氣流通如紅線箭頭所示，通過高壓罐進入 純化設備然后流回低壓罐。通過控制純化設備內部的閥門，調節好流量，在不影響氦檢設備正 常連續工作的情況下，保證高低壓罐的濃度維持在報警線以上，避免排氣，進而提高氦氣利用 率。（比如，高壓罐此時工作濃度為 86%，其中一部分氣體通過管路進入純化設備，從純化設 備出來的氦氣濃度為 99%，輸送回低壓罐，再由壓縮機打入高壓罐，這樣就可以提升高壓罐中的氦氣濃度）。當高壓罐壓力不足時，需通過鋼瓶再補入氦氣，維持壓力。

（2）工藝流程

（3）技術特點

A、采用低壓罐補氦，可以將氣瓶氦氣用到一個大氣壓，大大提高氦氣利用率；

B、通過對高壓罐、低壓罐和壓縮機的合理配置，使壓縮機間歇工作，保證了壓縮機 的使用壽命；

C、自動監測儲氣罐（高壓罐）內壓力或濃度，當低于規定值時，自動提示，自動補 充純氦，以保持儲氣罐內的氦氣有足夠的壓力和濃度。

D、采用非標定制壓縮機，改善密封機構，大大增加壓縮機的密封性，減少 了氦氣的浪費。

（4）應用領域

氫動力汽車氣缸檢測、新能源電池檢測、半導體行業產品檢測

（5）工程圖片